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17. 1 nm 极紫外滤光片的制备

牛筱茜 缪鹏飞 王瀚林 王孝东 陈波

光学精密工程2023，Vol.31Issue(2)：P.141-149,9.
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光学精密工程2023，Vol.31Issue(2)：P.141-149,9.DOI:10.37188/OPE.20233102.0141

17. 1 nm 极紫外滤光片的制备

牛筱茜 1缪鹏飞 2王瀚林 1王孝东 3陈波3

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130031 中国科学院大学,北京100190
  • 2. 上海卫星工程研究所,上海200240
  • 3. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130031
  • 折叠

摘要

关键词

金属薄膜/滤光片/栅网支撑/极紫外/氧化层

分类

数理科学

引用本文复制引用

牛筱茜,缪鹏飞,王瀚林,王孝东,陈波..17. 1 nm 极紫外滤光片的制备[J].光学精密工程,2023,31(2):P.141-149,9.

基金项目

国家自然科学基金天文联合基金资助项目(No.U203110007)。 （No.U203110007）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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