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离面位移激励下微视觉运动追踪精度劣化特性

王瑞洲 梁炽聪 蔡远馨 吴衡

光学精密工程2023，Vol.31Issue(1)：P.119-128,10.
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光学精密工程2023，Vol.31Issue(1)：P.119-128,10.DOI:10.37188/OPE.20233101.0119

离面位移激励下微视觉运动追踪精度劣化特性

王瑞洲 1梁炽聪 1蔡远馨 2吴衡3

作者信息

  • 1. 广东工业大学省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室,广东广州510006 广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室,广东广州510006
  • 2. 广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室,广东广州510006
  • 3. 广东工业大学广东省信息物理融合系统重点实验室,广东广州510006
  • 折叠

摘要

关键词

微视觉运动追踪/离面位移/精度劣化/纳米定位平台

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王瑞洲,梁炽聪,蔡远馨,吴衡..离面位移激励下微视觉运动追踪精度劣化特性[J].光学精密工程,2023,31(1):P.119-128,10.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.51905106)。 （No.51905106）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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