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宽束离子束刻蚀快速加工金属纳米间隙结构

曾沛 舒志文 陈艺勤 段辉高 郑梦洁

光学精密工程2023，Vol.31Issue(1)：P.109-118,10.
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光学精密工程2023，Vol.31Issue(1)：P.109-118,10.DOI:10.37188/OPE.20233101.0109

宽束离子束刻蚀快速加工金属纳米间隙结构

曾沛 1舒志文 2陈艺勤 2段辉高 2郑梦洁3

作者信息

  • 1. 季华实验室,广东佛山528000 湖南大学机械与运载工程学院国家高效磨削工程技术研究中心,湖南长沙410082
  • 2. 湖南大学机械与运载工程学院国家高效磨削工程技术研究中心,湖南长沙410082
  • 3. 季华实验室,广东佛山528000
  • 折叠

摘要

关键词

离子束刻蚀/电子束曝光/金属纳米间隙/亚10 nm/拉曼检测

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

曾沛,舒志文,陈艺勤,段辉高,郑梦洁..宽束离子束刻蚀快速加工金属纳米间隙结构[J].光学精密工程,2023,31(1):P.109-118,10.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.12104182) （No.12104182）

季华实验室青年创新基金资助项目(No.X201321XQ200)。 （No.X201321XQ200）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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