表面技术2023,Vol.52Issue(1):P.253-265,13.
Si_(3)N_(4)陶瓷球研磨轨迹分析及其对表面质量的影响机制
摘要
关键词
氮化硅陶瓷球/锥形研磨法/研磨参数/研磨轨迹/单因素实验/表面质量分类
化学化工引用本文复制引用
孙健,陈伟,姚金梅,李颂华,田军兴..Si_(3)N_(4)陶瓷球研磨轨迹分析及其对表面质量的影响机制[J].表面技术,2023,52(1):P.253-265,13.基金项目
国家自然科学基金(52105196) (52105196)
辽宁省教育厅资助项目(LJKMZ20220936) (LJKMZ20220936)
沈阳市中青年科技创新人才支持计划(RC210343)。 (RC210343)