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表面技术
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磁控溅射工艺对FeCrCoNiMn氧化物薄膜质量的影响
磁控溅射工艺对FeCrCoNiMn氧化物薄膜质量的影响
李岩
张伟强
表面技术
2023，Vol.52
Issue(1)：P.56-62,92,8.
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表面技术
2023，Vol.52
Issue(1)
：P.56-62,92,8.
磁控溅射工艺对FeCrCoNiMn氧化物薄膜质量的影响
李岩
1
张伟强
1
作者信息
1.
沈阳理工大学,沈阳110159
折叠
摘要
关键词
磁控溅射
/
高熵合金
/
氧化物
/
膜基结合力
/
硬度
/
弹性模量
分类
矿业与冶金
引用本文
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李岩,张伟强..磁控溅射工艺对FeCrCoNiMn氧化物薄膜质量的影响[J].表面技术,2023,52(1):P.56-62,92,8.
基金项目
装备预先研究领域基金(61409230111)。 （61409230111）
表面技术
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1001-3660
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