表面技术2023，Vol.52Issue(1)：P.21-28,8.
氮含量对Mo-Ta-W-N多主元合金氮化物薄膜的影响
摘要
关键词
多主元合金/氮化物/薄膜/反应多靶磁控溅射/组织结构/力学性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
张毅勇,井致远,张志彬,梁秀兵..氮含量对Mo-Ta-W-N多主元合金氮化物薄膜的影响[J].表面技术,2023,52(1):P.21-28,8.基金项目
国家自然科学基金项目(51975582、52275225) （51975582、52275225）
北京市自然科学基金项目(2212055)。 （2212055）
