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基于双层辉光离子渗金属的离子轰击金属靶材的计算机模拟

李祥 田林海 姚晓红 林乃明 王振霞 秦林 吴玉程

太原理工大学学报2023，Vol.54Issue(1)：P.48-55,8.
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太原理工大学学报2023，Vol.54Issue(1)：P.48-55,8.

基于双层辉光离子渗金属的离子轰击金属靶材的计算机模拟

李祥 1田林海 2姚晓红 1林乃明 1王振霞 1秦林 1吴玉程3

作者信息

  • 1. 太原理工大学材料科学与工程学院,太原030024
  • 2. 太原理工大学材料科学与工程学院,太原030024 山西电子科技学院新能源与材料工程学院,山西临汾041000
  • 3. 合肥工业大学材料科学与工程学院,合肥230009
  • 折叠

摘要

关键词

双层辉光离子渗金属/等离子体/溅射/蒙特卡罗/计算机模拟

分类

数理科学

引用本文复制引用

李祥,田林海,姚晓红,林乃明,王振霞,秦林,吴玉程..基于双层辉光离子渗金属的离子轰击金属靶材的计算机模拟[J].太原理工大学学报,2023,54(1):P.48-55,8.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(52020105014)。 （52020105014）

太原理工大学学报

OA北大核心CSTPCD

1007-9432

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