计算机应用与软件2023，Vol.40Issue(1)：90-97,8.DOI:10.3969/j.issn.1000-386x.2023.01.014
基于高斯分量标准化的K近邻故障检测策略
K-NEAREST NEIGHBOR BASED ON GAUSSIAN COMPONENT STANDARDIZATION FOR FAULT DETECTION STRATEGY
摘要
关键词
高斯混合模型/多模态故障检测/K近邻规则/标准化/半导体蚀刻过程分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张成,赵丽颖,郑百顺,戴絮年,李元..基于高斯分量标准化的K近邻故障检测策略[J].计算机应用与软件,2023,40(1):90-97,8.基金项目
国家自然科学基金项目(61673279) （61673279）
辽宁省自然科学基金项目(2019-MS-262) （2019-MS-262）
辽宁省教育厅基金项目(LJ2019013). （LJ2019013）
