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一种基于聚焦离子束的石英玻璃平面透射电镜试样制备方法

李怡雪 丁莹 张国栋 高倩雯 史学芳 刘峰

理化检验-物理分册2023,Vol.59Issue(1):27-30,4.
理化检验-物理分册2023,Vol.59Issue(1):27-30,4.DOI:10.11973/lhjy-wl202301008

一种基于聚焦离子束的石英玻璃平面透射电镜试样制备方法

A method for quartz glass planar transmission electron microscope sample preparation based on focus ion beam

李怡雪 1丁莹 1张国栋 2高倩雯 1史学芳 1刘峰1

作者信息

  • 1. 西北工业大学分析测试中心, 西安 710072
  • 2. 西北工业大学光电与智能研究院, 西安 710072
  • 折叠

摘要

关键词

石英玻璃/聚焦离子束/平面TEM试样/U型切割/倾转角

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

李怡雪,丁莹,张国栋,高倩雯,史学芳,刘峰..一种基于聚焦离子束的石英玻璃平面透射电镜试样制备方法[J].理化检验-物理分册,2023,59(1):27-30,4.

理化检验-物理分册

1001-4012

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