|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|中国机械工程|细粒度金刚石砂轮超精密磨削硅片的表面质量

细粒度金刚石砂轮超精密磨削硅片的表面质量

王紫光 刘金鑫 尹剑 周平 沙智华 康仁科

中国机械工程2023，Vol.34Issue(2)：245-251,7.
✕
中国机械工程2023，Vol.34Issue(2)：245-251,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2023.02.015

细粒度金刚石砂轮超精密磨削硅片的表面质量

Surface Quality of Ultra-precision Grinding of Silicon with Fine Diamond Grinding Wheels

王紫光 1刘金鑫 1尹剑 1周平 2沙智华 1康仁科2

作者信息

  • 1. 大连交通大学辽宁省复杂零件精密制造重点实验室,大连,116028
  • 2. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116023
  • 折叠

摘要

关键词

磨削/金刚石/砂轮/单晶硅/表面质量

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王紫光,刘金鑫,尹剑,周平,沙智华,康仁科..细粒度金刚石砂轮超精密磨削硅片的表面质量[J].中国机械工程,2023,34(2):245-251,7.

基金项目

国家自然科学基金(52075066,51875078,51991372) （52075066,51875078,51991372）

辽宁省教育厅科学研究项目(JDL2020023) （JDL2020023）

中国机械工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-132X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文