真空电子技术Issue(6)：P.1-13,42,14.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.06.01
片上微型真空泵的研究进展
赵彦晴 1魏贤龙1
作者信息
- 1. 北京大学、电子学院、纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京100871
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摘要
关键词
微机电系统/片上微型真空泵/隔膜泵/热分子泵/喷射泵/离子泵分类
通用工业技术引用本文复制引用
赵彦晴,魏贤龙..片上微型真空泵的研究进展[J].真空电子技术,2022,(6):P.1-13,42,14.
