真空电子技术Issue(6)：P.23-28,42,7.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.06.03
硅微尖锥冷阴极微加工及其场发射器件物理
摘要
关键词
场致电子发射/片上集成硅尖锥/自对准微加工/杂质分凝/产生电流/热助场发射分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈阳,章易,黄一峰,佘峻聪..硅微尖锥冷阴极微加工及其场发射器件物理[J].真空电子技术,2022,(6):P.23-28,42,7.基金项目
国家重点研发计划项目(2021YFA1200600)。 （2021YFA1200600）
