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基于低功函数铪电极的Si纳米空气沟道二极管研究

王佳超 黄瑞涵 马培胜 魏亚洲 赵海全 陈飞良 李沫 张健

真空电子技术Issue(6):P.29-35,7.
真空电子技术Issue(6):P.29-35,7.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.06.04

基于低功函数铪电极的Si纳米空气沟道二极管研究

王佳超 1黄瑞涵 1马培胜 1魏亚洲 1赵海全 1陈飞良 2李沫 2张健2

作者信息

  • 1. 电子科技大学电子科学与工程学院,四川成都610054
  • 2. 电子科技大学电子科学与工程学院,四川成都610054 电子科技大学先进毫米波技术集成攻关研究院,四川成都610054
  • 折叠

摘要

关键词

纳米空气沟道二极管/低功函数/截面发射/面内发射/空间电荷限制电流/场发射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王佳超,黄瑞涵,马培胜,魏亚洲,赵海全,陈飞良,李沫,张健..基于低功函数铪电极的Si纳米空气沟道二极管研究[J].真空电子技术,2022,(6):P.29-35,7.

真空电子技术

1002-8935

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