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基于音叉式AFM测量的软件控制研究

刘林伟高思田黄鹭王学影祝敏豪孙晓爽

计量学报2023，Vol.44Issue(1)：35-40,6.

计量学报2023，Vol.44Issue(1)：35-40,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2023.01.06

Study on Software Control of Atomic Force Microscope Measurement Based on Tuning Fork

刘林伟 ¹高思田 ²黄鹭 ²王学影 ²祝敏豪 ¹孙晓爽¹

作者信息

计量学/表面形貌/原子力显微镜/音叉探针/软件控制系统

通用工业技术

刘林伟,高思田,黄鹭,王学影,祝敏豪,孙晓爽..基于音叉式AFM测量的软件控制研究[J].计量学报,2023,44(1):35-40,6.

国家重点研发计划(2016YFF0200602) （2016YFF0200602）

国家重点研发专项(2016YFA0200901) （2016YFA0200901）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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