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基于ISOMAP-DE-SVM的Cz单晶硅等径阶段掉苞预测

侯少华 张宏帅 姜宝柱 朱宾宾 田增国

人工晶体学报2023，Vol.52Issue(1)：25-33,55,10.
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人工晶体学报2023，Vol.52Issue(1)：25-33,55,10.

基于ISOMAP-DE-SVM的Cz单晶硅等径阶段掉苞预测

Broken Edge Prediction in the Equal-Diameter Growth Process of Cz Single Crystal Silicon Based on ISOMAP-DE-SVM

侯少华 1张宏帅 1姜宝柱 2朱宾宾 3田增国2

作者信息

  • 1. 郑州大学机械与动力工程学院,郑州 450001
  • 2. 郑州大学物理(微电子)学院,郑州 450001
  • 3. 麦斯克电子材料股份有限公司,洛阳 471000
  • 折叠

摘要

关键词

直拉法/单晶硅/等径生长/支持向量机/等度量映射/掉苞/预测

分类

数理科学

引用本文复制引用

侯少华,张宏帅,姜宝柱,朱宾宾,田增国..基于ISOMAP-DE-SVM的Cz单晶硅等径阶段掉苞预测[J].人工晶体学报,2023,52(1):25-33,55,10.

基金项目

河南省先进制造业发展专项资金(2020) （2020）

人工晶体学报

1000-985X

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