人工晶体学报2023，Vol.52Issue(1)：34-40,7.
二氧化碳对同质外延生长单晶金刚石内应力的影响
Effect of Carbon Dioxide on Internal Stress of Single Crystal Diamond Grown by Homogeneous Epitaxy
贾元波 1满卫东 1伍正新 2梁凯 1林志东2
作者信息
- 1. 武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430205
- 2. 上海征世科技股份有限公司,上海 201700
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摘要
关键词
单晶金刚石/MPCVD/同质外延/内应力/二氧化碳分类
化学化工引用本文复制引用
贾元波,满卫东,伍正新,梁凯,林志东..二氧化碳对同质外延生长单晶金刚石内应力的影响[J].人工晶体学报,2023,52(1):34-40,7.
