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高温扩散法制备B-S共掺杂单晶金刚石

张瑞 于文强

人工晶体学报2023,Vol.52Issue(1):41-47,7.
人工晶体学报2023,Vol.52Issue(1):41-47,7.

高温扩散法制备B-S共掺杂单晶金刚石

Preparation of B-S Co-Doped Single Crystal Diamond by High Temperature Diffusion Method

张瑞 1于文强1

作者信息

  • 1. 山东理工大学机械工程学院,淄博 255000
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摘要

关键词

金刚石/共掺杂/B-S质量比/表面形貌/晶体质量/霍尔测试

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

张瑞,于文强..高温扩散法制备B-S共掺杂单晶金刚石[J].人工晶体学报,2023,52(1):41-47,7.

基金项目

山东省重点研发计划(2019GGX101037) (2019GGX101037)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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