人工晶体学报2023,Vol.52Issue(1):41-47,7.
高温扩散法制备B-S共掺杂单晶金刚石
Preparation of B-S Co-Doped Single Crystal Diamond by High Temperature Diffusion Method
摘要
关键词
金刚石/共掺杂/B-S质量比/表面形貌/晶体质量/霍尔测试分类
通用工业技术引用本文复制引用
张瑞,于文强..高温扩散法制备B-S共掺杂单晶金刚石[J].人工晶体学报,2023,52(1):41-47,7.基金项目
山东省重点研发计划(2019GGX101037) (2019GGX101037)