人工晶体学报2023，Vol.52Issue(1)：149-154,6.
LPCVD法制备TOPCon太阳能电池工艺研究
Preparation of TOPCon Solar Cells by LPCVD Method
王举亮 1贾永军1
作者信息
- 1. 青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司,西安 710100
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摘要
关键词
TOPCon电池/LPCVD/隧穿氧化层/多晶硅层/钝化/掺杂分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王举亮,贾永军..LPCVD法制备TOPCon太阳能电池工艺研究[J].人工晶体学报,2023,52(1):149-154,6.
