中国工程科学2023，Vol.25Issue(1)：68-78,11.DOI:10.15302/J-SSCAE-2023.01.002
我国半导体硅片发展现状与展望
Progress and Prospect of Semiconductor Silicon Wafers in China
摘要
关键词
半导体硅片/8 in/12 in/产业协同/先进制程分类
通用工业技术引用本文复制引用
张果虎,肖清华,马飞..我国半导体硅片发展现状与展望[J].中国工程科学,2023,25(1):68-78,11.基金项目
中国工程院咨询项目"我国先进有色金属材料发展战略研究"(2022-XZ-20) （2022-XZ-20）
