中国工程科学2023,Vol.25Issue(1):131-141,11.DOI:10.15302/J-SSCAE-2023.07.003
高端光学元件超精密加工技术与装备发展研究
Ultra-Precision Machining Technology and Equipment for High-End Optical Elements
摘要
关键词
光学元件/精密制造/超精密机床/超精密加工/光学加工分类
机械制造引用本文复制引用
蒋庄德,李常胜,孙林,段端志,康城玮,陈杉杉,林启敬,杨树明..高端光学元件超精密加工技术与装备发展研究[J].中国工程科学,2023,25(1):131-141,11.基金项目
中国工程院咨询项目"高端光学系统的精密超精密加工技术及装备的发展战略研究"(2020-XY-02),"工作母机高端装备的发展战略研究"(2022-XY-114) (2020-XY-02)