中国机械工程2023，Vol.34Issue(3)：253-268,16.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2023.03.001
超精密加工误差补偿技术研究综述
Research Review of Error Compensation Technology for Ultra-precision Machining
摘要
关键词
超精密加工/误差补偿/研究现状/发展趋势分类
机械制造引用本文复制引用
陈启迪,胡小龙,吝敏,孙晓霞,张涛,周志雄..超精密加工误差补偿技术研究综述[J].中国机械工程,2023,34(3):253-268,16.基金项目
国家自然科学基金(51375156) （51375156）
