科技创新与应用2023，Vol.13Issue(3)：P.1-6,6.DOI:10.19981/j.CN23-1581/G3.2023.03.001
硅衬底氮化镓大失配应力调控方法研究
王欢 1田野1
作者信息
- 1. 哈尔滨师范大学物理与电子工程学院,哈尔滨150025
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摘要
关键词
硅基氮化镓/应力/缓冲层/图形化衬底/柔性衬底分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王欢,田野..硅衬底氮化镓大失配应力调控方法研究[J].科技创新与应用,2023,13(3):P.1-6,6.基金项目
国家自然科学基金课题(61774147)。 （61774147）
