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8英寸半导体厂房给排水系统设计工程实例分析

曾现磊 明金阳 张静园

科技创新与应用2023,Vol.13Issue(3):P.121-123,129,4.
科技创新与应用2023,Vol.13Issue(3):P.121-123,129,4.DOI:10.19981/j.CN23-1581/G3.2023.03.028

8英寸半导体厂房给排水系统设计工程实例分析

曾现磊 1明金阳 1张静园2

作者信息

  • 1. 宝鼎乾芯集成电路(杭州)有限公司,杭州310020
  • 2. 科技部科技评估中心,北京100000
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摘要

关键词

给水系统/消防水系统/半导体/排水系统/工艺设计

分类

建筑与水利

引用本文复制引用

曾现磊,明金阳,张静园..8英寸半导体厂房给排水系统设计工程实例分析[J].科技创新与应用,2023,13(3):P.121-123,129,4.

基金项目

国家重点研发计划大气污染成因与控制技术研究重点专项(2017YFC0212902)。 (2017YFC0212902)

科技创新与应用

2095-2945

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