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氮化铝Lamb波谐振器的能量损耗分析研究

赵继聪吕世涛张敖宇宋晨光孙海燕

电子学报2023，Vol.51Issue(1)：222-230,9.

电子学报2023，Vol.51Issue(1)：222-230,9.DOI:10.12263/DZXB.20220897

Analysis and Research on Energy Loss of Aluminum Nitride Lamb Wave Resonators

赵继聪 ¹吕世涛 ²张敖宇 ¹宋晨光 ²孙海燕¹

作者信息

微机电系统/Lamb波谐振器/品质因数/能量损耗/制备工艺

信息技术与安全科学

赵继聪,吕世涛,张敖宇,宋晨光,孙海燕..氮化铝Lamb波谐振器的能量损耗分析研究[J].电子学报,2023,51(1):222-230,9.

国家自然科学基金(No.62174092,No.61804084) （No.62174092,No.61804084）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：0372-2112

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