日用化学工业(中英文)2023,Vol.53Issue(2):210-219,10.DOI:10.3969/j.issn.1001-1803.2023.02.012
溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜研究
Preparation of SiO2 antireflective coatings by sol-gel method
摘要
关键词
溶胶-凝胶/纳米技术/二氧化硅/化学过程/减反膜分类
化学化工引用本文复制引用
井希明,盛永刚..溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜研究[J].日用化学工业(中英文),2023,53(2):210-219,10.基金项目
2020年度辽宁省重点研发计划项目(2020JH2/10100010) (2020JH2/10100010)
辽宁省教育厅2021年度科学研究经费项目(LJKZ0461) (LJKZ0461)