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溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜研究

井希明 盛永刚

日用化学工业(中英文)2023,Vol.53Issue(2):210-219,10.
日用化学工业(中英文)2023,Vol.53Issue(2):210-219,10.DOI:10.3969/j.issn.1001-1803.2023.02.012

溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜研究

Preparation of SiO2 antireflective coatings by sol-gel method

井希明 1盛永刚1

作者信息

  • 1. 沈阳化工大学 理学院,辽宁 沈阳 110142
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摘要

关键词

溶胶-凝胶/纳米技术/二氧化硅/化学过程/减反膜

分类

化学化工

引用本文复制引用

井希明,盛永刚..溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜研究[J].日用化学工业(中英文),2023,53(2):210-219,10.

基金项目

2020年度辽宁省重点研发计划项目(2020JH2/10100010) (2020JH2/10100010)

辽宁省教育厅2021年度科学研究经费项目(LJKZ0461) (LJKZ0461)

日用化学工业(中英文)

OA北大核心CSTPCD

1001-1803

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