工程科学学报2023，Vol.45Issue(6)：987-994,8.
低功耗微热板ZnO甲烷传感器仿真及性能研究
Simulation and performance study of low-power magnetron sputtered ZnO methane sensor
摘要
关键词
甲烷/微加热板/有限元分析/磁控溅射/氧化锌分类
矿业与冶金引用本文复制引用
李加明,焦明之,钱晨..低功耗微热板ZnO甲烷传感器仿真及性能研究[J].工程科学学报,2023,45(6):987-994,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(52174222) （52174222）
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2020QN69) （2020QN69）
国家自然科学基金青年基金资助项目(62204260) （62204260）
