光学精密工程2023，Vol.31Issue(3)：301-312,12.DOI:10.37188/OPE.20233103.0301
基于像差补偿的近红外显微干涉硅通孔测量
Measurement of through silicon via by near-infrared micro interferometry based on aberration compensation
摘要
关键词
无损测量/光学显微干涉/自适应像差补偿/COMSOL仿真/硅通孔形貌分类
数理科学引用本文复制引用
吴春霞,马剑秋,高志山,郭珍艳,袁群..基于像差补偿的近红外显微干涉硅通孔测量[J].光学精密工程,2023,31(3):301-312,12.基金项目
国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2005500) （No.2019YFB2005500）
国家自然科学基金资助项目(No.62175107,No.U1931120) （No.62175107,No.U1931120）
江苏省六大人才高峰项目(No.RJFW-019) （No.RJFW-019）
中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室基金资助项目(No.KLOMT190201) （No.KLOMT190201）
上海在线检测与控制技术重点实验室基金资助项目(No.ZX2021102) （No.ZX2021102）
