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掺杂对GaN晶体力学性能影响的研究

王海笑 李腾坤 夏政辉 陈科蓓 张育民 王鲁华 高晓东 任国强 徐科

人工晶体学报2023，Vol.52Issue(2)：229-234,6.
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人工晶体学报2023，Vol.52Issue(2)：229-234,6.

掺杂对GaN晶体力学性能影响的研究

Effect of Doping on the Mechanical Properties of GaN Crystals

王海笑 1李腾坤 2夏政辉 1陈科蓓 1张育民 2王鲁华 1高晓东 1任国强 3徐科1

作者信息

  • 1. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州 215123
  • 2. 中国科学技术大学纳米科学与技术学院,合肥 230026
  • 3. 苏州纳维科技有限公司,苏州 215123
  • 折叠

摘要

关键词

GaN单晶/弹性模量/硬度/纳米压痕/氨热法/掺杂

分类

数理科学

引用本文复制引用

王海笑,李腾坤,夏政辉,陈科蓓,张育民,王鲁华,高晓东,任国强,徐科..掺杂对GaN晶体力学性能影响的研究[J].人工晶体学报,2023,52(2):229-234,6.

基金项目

国家重点研发计划(2022YFB3605202,2021YFB3602000) （2022YFB3605202,2021YFB3602000）

江苏省重点研发计划(BE2021008) （BE2021008）

国家自然科学基金(62074157,62104246) （62074157,62104246）

中科院关键技术人才计划(2021000052) （2021000052）

人工晶体学报

1000-985X

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