人工晶体学报2023，Vol.52Issue(2)：244-251,8.
大尺寸非规则碲锌镉晶片双面抛光技术
Study on Double Sided Polishing Technology of Large Size Irregular CdZnTe Wafer
李振兴 1柏伟 1王琰璋 1刘江高 1张瑛侠 1折伟林1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第十一研究所,北京 100015
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摘要
关键词
碲锌镉/双面抛光/抛光效率/表面平整度/粗糙度/宽禁带半导体分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李振兴,柏伟,王琰璋,刘江高,张瑛侠,折伟林..大尺寸非规则碲锌镉晶片双面抛光技术[J].人工晶体学报,2023,52(2):244-251,8.
