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集成电路关键战略材料的研发和产业化

董源 程宝忠

张江科技评论Issue(1)：32-34,3.
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张江科技评论Issue(1)：32-34,3.

集成电路关键战略材料的研发和产业化

董源 1程宝忠2

作者信息

  • 1. 杭州电子科技大学
  • 2. 清华大学上海校友会
  • 折叠

摘要

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董源,程宝忠..集成电路关键战略材料的研发和产业化[J].张江科技评论,2023,(1):32-34,3.

张江科技评论

2096-3939

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