有色金属材料与工程2023，Vol.44Issue(1)：55-63,9.DOI:10.13258/j.cnki.nmme.2023.01.008
V掺杂对类金刚石薄膜性能的影响
Effect of V doping on properties of diamond-like carbon films
摘要
关键词
类金刚石薄膜/磁控溅射/V掺杂/力学性能/摩擦学性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
周信扬,王静静,李伟,祝新发,陆红妹,刘平,马迅..V掺杂对类金刚石薄膜性能的影响[J].有色金属材料与工程,2023,44(1):55-63,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51971148) （51971148）
