电工技术学报2023,Vol.38Issue(6):1519-1530,12.DOI:10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.221383
基于自学习非线性PID的音圈电机精密定位系统
A Voice Coil Motor-Driven Precision Positioning System Based on Self-Learning Nonlinear PID
摘要
关键词
精密宏微气浮运动系统/音圈电机/自学习非线性PID/定位精度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
程苗苗,翟朋辉,张英杰,李健,冯凯..基于自学习非线性PID的音圈电机精密定位系统[J].电工技术学报,2023,38(6):1519-1530,12.基金项目
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2007604). (2020YFB2007604)