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高软磁低电导率Fe-Fe3N薄膜的N原子含量调控

陈震 兰明迪 李国建 孙尚 刘诗莹 王强

物理学报2023，Vol.72Issue(6)：276-285,10.
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物理学报2023，Vol.72Issue(6)：276-285,10.DOI:10.7498/aps.72.20221577

高软磁低电导率Fe-Fe3N薄膜的N原子含量调控

Control of N atom content in Fe-Fe3N film with high saturation magnetization and low conductivity

陈震 1兰明迪 2李国建 1孙尚 3刘诗莹 1王强1

作者信息

  • 1. 东北大学材料电磁过程研究教育部重点实验室,沈阳 110819
  • 2. 东北大学冶金学院,沈阳 110819
  • 3. 东北大学材料科学与工程学院,沈阳 110819
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摘要

关键词

磁性薄膜/Fe-Fe3N/真空热蒸发/射频原子源

引用本文复制引用

陈震,兰明迪,李国建,孙尚,刘诗莹,王强..高软磁低电导率Fe-Fe3N薄膜的N原子含量调控[J].物理学报,2023,72(6):276-285,10.

基金项目

国家重点研发计划(批准号:2021YFA1600204)资助的课题. （批准号:2021YFA1600204）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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