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硅纳米线阵列光电探测器研究进展

刘晓轩孙飞扬吴颖杨盛谊邹炳锁

物理学报2023，Vol.72Issue(6)：335-349,15.

物理学报2023，Vol.72Issue(6)：335-349,15.DOI:10.7498/aps.72.20222303

硅纳米线阵列光电探测器研究进展

Research progress of silicon nanowires array photodetectors

刘晓轩 ¹孙飞扬 ¹吴颖 ¹杨盛谊 ¹邹炳锁²

作者信息

1. 北京理工大学物理学院,纳米光子学与超精密光电系统北京市重点实验室,北京 100081
2. 广西大学资源环境与材料学院,南宁 530004
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摘要

关键词

硅纳米线/硅纳米线阵列/干法蚀刻和湿法蚀刻/金属辅助化学蚀刻/光电探测器

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刘晓轩,孙飞扬,吴颖,杨盛谊,邹炳锁..硅纳米线阵列光电探测器研究进展[J].物理学报,2023,72(6):335-349,15.

基金项目

国家重点研发计划(批准号:SQ2019YFB220038)、国家自然科学基金(批准号:1227041254)、中央高校基本科研业务费(批准号:020CX02002,BITBLR2020013)和广西大学"省部共建特色金属材料与组合结构全寿命安全国家重点实验室"开放基金(批准号:2021GXYSOF18)资助的课题. （批准号:SQ2019YFB220038）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-3290

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