现代电子技术2023，Vol.46Issue(7)：155-160,6.DOI:10.16652/j.issn.1004-373x.2023.07.028
基于云服务器的原子层沉积远程监控系统设计
Design of atomic layer deposition remote monitoring system based on cloud server
摘要
关键词
原子层沉积/云服务器/远程监控/数据采集/通信协议/TCP/IP/加密算法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
宋肖枫,陈焰,明帅强,夏洋..基于云服务器的原子层沉积远程监控系统设计[J].现代电子技术,2023,46(7):155-160,6.基金项目
重大科学仪器设备开发(2018YFF01012703) （2018YFF01012703）
