湖南工业大学学报2023，Vol.37Issue(2)：38-43,6.DOI:10.3969/j.issn.1673-9833.2023.02.006
Al2O3掺杂对ZnO薄膜结构及光电性能的影响
Effect of Al2O3 Doping on the Structure and Photoelectric Properties of ZnO Films
摘要
关键词
AZO薄膜/掺杂/磁控溅射/光电性能/择优取向/结晶质量分类
数理科学引用本文复制引用
陈星辉,陈家辉,张聚航,王嘉悦,邵天一,陈光伟..Al2O3掺杂对ZnO薄膜结构及光电性能的影响[J].湖南工业大学学报,2023,37(2):38-43,6.基金项目
湖南省大学生创新训练基金资助项目(湘教通[2021]197-3035) （湘教通[2021]197-3035）
