太阳能Issue(3)：52-57,6.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20211203.01
硼扩散设备若干难点问题的研究
STUDY ON SOME DIFFICULT PROBLEMS OF BORON DIFFUSION EQUIPMENT
彭浩 1赵志然 1龙辉 1郭浩1
作者信息
- 1. 湖南红太阳光电科技有限公司,长沙 410221
- 折叠
摘要
关键词
TOPCon太阳电池/硼扩散设备/硼源/硼硅玻璃/高能耗分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
彭浩,赵志然,龙辉,郭浩..硼扩散设备若干难点问题的研究[J].太阳能,2023,(3):52-57,6.
