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柔性无机铁电薄膜的制备及其在存储器领域应用研究进展

戚佳斌 谢欣瑜 李忠贤

人工晶体学报2023,Vol.52Issue(3):380-393,14.
人工晶体学报2023,Vol.52Issue(3):380-393,14.

柔性无机铁电薄膜的制备及其在存储器领域应用研究进展

Research Progress on Preparation of Flexible Inorganic Ferroelectric Thin Film and Its Application in Memory Field

戚佳斌 1谢欣瑜 1李忠贤1

作者信息

  • 1. 中国电子科技南湖研究院,嘉兴 314000
  • 折叠

摘要

关键词

柔性/无机材料/铁电薄膜/范德瓦耳斯异质外延/化学蚀刻/二维铁电材料/存储器

分类

数理科学

引用本文复制引用

戚佳斌,谢欣瑜,李忠贤..柔性无机铁电薄膜的制备及其在存储器领域应用研究进展[J].人工晶体学报,2023,52(3):380-393,14.

基金项目

浙江省"领雁"研发攻关计划(2022C01098) (2022C01098)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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