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新型GaN与ZnO衬底ScAlMgO4晶体的研究进展

张超逸 韩建峰 逯占文 唐慧丽 李宪珂 王庆国 罗平 吴锋 张晨波 薛艳艳 徐军

无机材料学报2023，Vol.38Issue(3)：228-242,15.
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无机材料学报2023，Vol.38Issue(3)：228-242,15.DOI:10.15541/jim20220620

新型GaN与ZnO衬底ScAlMgO4晶体的研究进展

Research Progress of ScAlMgO4 Crystal: a Novel GaN and ZnO Substrate

张超逸 1韩建峰 2逯占文 2唐慧丽 1李宪珂 1王庆国 1罗平 1吴锋 1张晨波 1薛艳艳 1徐军1

作者信息

  • 1. 同济大学 物理科学与工程学院, 先进微结构材料教育部重点实验室, 上海 200092
  • 2. 连城凯克斯科技有限公司, 无锡 214000
  • 折叠

摘要

关键词

ScAlMgO4/自剥离衬底/晶格匹配/晶体生长/外延/综述

分类

化学化工

引用本文复制引用

张超逸,韩建峰,逯占文,唐慧丽,李宪珂,王庆国,罗平,吴锋,张晨波,薛艳艳,徐军..新型GaN与ZnO衬底ScAlMgO4晶体的研究进展[J].无机材料学报,2023,38(3):228-242,15.

基金项目

国家自然科学基金(52032009,61621001,62075166) （52032009,61621001,62075166）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-324X

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