无机材料学报2023,Vol.38Issue(3):303-309,7.DOI:10.15541/jim20220633
等离子体聚集装置下的高能量密度单晶金刚石快速生长研究
Rapid Growth of Single Crystal Diamond at High Energy Density by Plasma Focusing
摘要
关键词
MPCVD单晶金刚石生长/高能量密度/高生长速率/等离子体仿真分类
化学化工引用本文复制引用
李一村,刘雪冬,郝晓斌,代兵,吕继磊,朱嘉琦..等离子体聚集装置下的高能量密度单晶金刚石快速生长研究[J].无机材料学报,2023,38(3):303-309,7.基金项目
国家自然科学基金(52072087) (52072087)
国家重点研发计划(2020YFA0709700) (2020YFA0709700)
黑龙江省自然科学基金(YQ2020E008) (YQ2020E008)