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等离子体聚集装置下的高能量密度单晶金刚石快速生长研究

李一村 刘雪冬 郝晓斌 代兵 吕继磊 朱嘉琦

无机材料学报2023,Vol.38Issue(3):303-309,7.
无机材料学报2023,Vol.38Issue(3):303-309,7.DOI:10.15541/jim20220633

等离子体聚集装置下的高能量密度单晶金刚石快速生长研究

Rapid Growth of Single Crystal Diamond at High Energy Density by Plasma Focusing

李一村 1刘雪冬 1郝晓斌 1代兵 1吕继磊 2朱嘉琦1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学 航天学院, 哈尔滨 150000
  • 2. 湖北碳六科技有限公司, 宜昌 443000
  • 折叠

摘要

关键词

MPCVD单晶金刚石生长/高能量密度/高生长速率/等离子体仿真

分类

化学化工

引用本文复制引用

李一村,刘雪冬,郝晓斌,代兵,吕继磊,朱嘉琦..等离子体聚集装置下的高能量密度单晶金刚石快速生长研究[J].无机材料学报,2023,38(3):303-309,7.

基金项目

国家自然科学基金(52072087) (52072087)

国家重点研发计划(2020YFA0709700) (2020YFA0709700)

黑龙江省自然科学基金(YQ2020E008) (YQ2020E008)

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-324X

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