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锗锡薄膜的分子束外延生长及退火研究

林光杨 钱坤 蔡宏杰 汪建元 徐剑芳 陈松岩 李成

厦门大学学报(自然科学版)2023,Vol.62Issue(2):243-253,11.
厦门大学学报(自然科学版)2023,Vol.62Issue(2):243-253,11.DOI:10.6043/j.issn.0438-0479.202209017

锗锡薄膜的分子束外延生长及退火研究

Molecular beam epitaxy and thermal annealing investigation of germanium tin films

林光杨 1钱坤 1蔡宏杰 1汪建元 1徐剑芳 1陈松岩 1李成1

作者信息

  • 1. 厦门大学物理科学与技术学院,福建 厦门 361005
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摘要

关键词

锗锡/分子束外延/非晶化/应变弛豫/临界层厚度/退火/光致发光

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

林光杨,钱坤,蔡宏杰,汪建元,徐剑芳,陈松岩,李成..锗锡薄膜的分子束外延生长及退火研究[J].厦门大学学报(自然科学版),2023,62(2):243-253,11.

基金项目

国家重点研发计划(2018YFB2200103) (2018YFB2200103)

国家自然科学基金(62074134,62104205) (62074134,62104205)

厦门大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

0438-0479

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