真空电子技术Issue(1)：56-62,7.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2023.01.10
Kr/Cl2混合气体介质阻挡放电多电流脉冲行为分析
Analysis of Multiple-Current-Pulse Behavior of Kr/Cl2 Mixed Gas Dielectric Barrier Discharge
鄢雪晴 1石嘉祺 1华伟1
作者信息
- 1. 四川大学电子信息学院,四川成都610065
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摘要
关键词
222 nm/介质阻挡放电/KrCl*/多电流脉冲放电分类
数理科学引用本文复制引用
鄢雪晴,石嘉祺,华伟..Kr/Cl2混合气体介质阻挡放电多电流脉冲行为分析[J].真空电子技术,2023,(1):56-62,7.
