机电工程技术2023，Vol.52Issue(4)：208-211,4.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2023.04.044
基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计
Design Scheme of Automatic Measurement Sensor Based on Micro-electromechanical Technology
摘要
关键词
微机械电子技术/自动化测量/传感器设计分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈静,李济洲..基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计[J].机电工程技术,2023,52(4):208-211,4.基金项目
院级重点科研项目(编号:2021-A-4) （编号:2021-A-4）
