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电子洁净室气流特性分布及颗粒物扩散数值模拟

赵福云 文雅冰 黄志荣 陈皓 姚奕合 谭志成

湖南工业大学学报2023,Vol.37Issue(3):14-20,7.
湖南工业大学学报2023,Vol.37Issue(3):14-20,7.DOI:10.3969/j.issn.1673-9833.2023.03.003

电子洁净室气流特性分布及颗粒物扩散数值模拟

A Numerical Simulation of Airflow Characteristics Distribution and Particle Diffusion in Electronic Cleanrooms

赵福云 1文雅冰 1黄志荣 1陈皓 1姚奕合 1谭志成1

作者信息

  • 1. 湖南工业大学 土木工程学院,湖南 株洲 412007
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摘要

关键词

气流特性/颗粒物/电子洁净室/数值模拟

分类

建筑与水利

引用本文复制引用

赵福云,文雅冰,黄志荣,陈皓,姚奕合,谭志成..电子洁净室气流特性分布及颗粒物扩散数值模拟[J].湖南工业大学学报,2023,37(3):14-20,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(U1867221) (U1867221)

湖南省重点研发计划基金资助项目(2022SK2084) (2022SK2084)

湖南工业大学学报

1673-9833

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