湖南工业大学学报2023,Vol.37Issue(3):14-20,7.DOI:10.3969/j.issn.1673-9833.2023.03.003
电子洁净室气流特性分布及颗粒物扩散数值模拟
A Numerical Simulation of Airflow Characteristics Distribution and Particle Diffusion in Electronic Cleanrooms
摘要
关键词
气流特性/颗粒物/电子洁净室/数值模拟分类
建筑与水利引用本文复制引用
赵福云,文雅冰,黄志荣,陈皓,姚奕合,谭志成..电子洁净室气流特性分布及颗粒物扩散数值模拟[J].湖南工业大学学报,2023,37(3):14-20,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(U1867221) (U1867221)
湖南省重点研发计划基金资助项目(2022SK2084) (2022SK2084)