真空电子技术Issue(2)：P.65-69,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2023.02.11
一种基于矩形波导缝隙天线的微波低压等离子体装置
摘要
关键词
微波低压等离子体/缝隙天线/均匀性/等离子体密度/等离子体温度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
苏勇,吴丽,刘高宸,黄卡玛..一种基于矩形波导缝隙天线的微波低压等离子体装置[J].真空电子技术,2023,(2):P.65-69,5.基金项目
用于芯片封装过程清洁的常压线形微波低温等离子体源研发项目(2021CDSN-11)。 （2021CDSN-11）
