工程设计学报2023，Vol.30Issue(2)：182-188,7.DOI:10.3785/j.issn.1006-754X.2023.00.018
雾化辅助CVD腔体的优化设计与实现
Optimization design and implementation of atomization assisted CVD cavity
摘要
关键词
雾化辅助化学气相沉积/新型腔体/单晶Ga2O3薄膜/工艺优化分类
机械制造引用本文复制引用
樊俊良,肖黎,罗月婷,陈刚,瞿小林,唐毅,龚恒翔..雾化辅助CVD腔体的优化设计与实现[J].工程设计学报,2023,30(2):182-188,7.基金项目
重庆市自然科学基金资助项目(cstc2021jcyj-bshX0219) （cstc2021jcyj-bshX0219）
重庆市教育委员会科学技术研究项目(KJQN202201137) （KJQN202201137）
