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铂电阻薄膜温度传感器设计与动态特性研究

吕晓霖 侯文 王俊强 刘佳政 张海坤 李孟委

舰船电子工程2023，Vol.43Issue(1)：204-208,5.
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舰船电子工程2023，Vol.43Issue(1)：204-208,5.DOI:10.3969/j.issn.1672-9730.2023.01.041

铂电阻薄膜温度传感器设计与动态特性研究

Design and Dynamic Characteristics of Platinum Resistance Thin Film Temperature Sensor

吕晓霖 1侯文 1王俊强 2刘佳政 2张海坤 3李孟委2

作者信息

  • 1. 中北大学信息与通信工程学院 太原 030051||中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051
  • 2. 中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051||中北大学仪器与电子学院 太原 030051
  • 3. 中北大学前沿交叉科学研究院 太原 030051
  • 折叠

摘要

关键词

铂电阻/温度传感器/响应时间/薄膜/激光加热法

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吕晓霖,侯文,王俊强,刘佳政,张海坤,李孟委..铂电阻薄膜温度传感器设计与动态特性研究[J].舰船电子工程,2023,43(1):204-208,5.

基金项目

国防173计划技术领域基金项目(编号:2021JCJQJJ0172)资助. （编号:2021JCJQJJ0172）

舰船电子工程

OACSTPCD

1672-9730

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