人工晶体学报2023，Vol.52Issue(4)：562-570,9.
高拉速对ϕ300mm单晶硅点缺陷分布及生产能耗的影响
Effect of High Pulling Rate on the Distribution of Point Defects and Energy Consumption in ϕ300 mm Monocrystalline Silicon
摘要
关键词
直拉单晶硅/有限元体积法/拉晶速率/固液界面/点缺陷/生产能耗分类
化学化工引用本文复制引用
徐尊豪,李进,何显,安百俊,周春玲..高拉速对ϕ300mm单晶硅点缺陷分布及生产能耗的影响[J].人工晶体学报,2023,52(4):562-570,9.基金项目
国家自然科学基金(51962030) （51962030）
直拉法单晶硅低能耗关键制备技术研究(2022XQZD006) （2022XQZD006）
