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图形化薄膜等效弹性模量的声表面波表征研究

陈龙 肖夏 张立 戚海洋

应用数学和力学2023,Vol.44Issue(4):381-393,13.
应用数学和力学2023,Vol.44Issue(4):381-393,13.DOI:10.21656/1000-0887.430050

图形化薄膜等效弹性模量的声表面波表征研究

Surface Acoustic Wave Characterization of Equivalent Young's Moduli for Patterned Films

陈龙 1肖夏 1张立 1戚海洋2

作者信息

  • 1. 天津大学 微电子学院,天津 300072
  • 2. 浙江省计量科学研究院,杭州 310063
  • 折叠

摘要

关键词

声表面波/大马士革结构/图形化薄膜/等效弹性模量/数值模拟

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈龙,肖夏,张立,戚海洋..图形化薄膜等效弹性模量的声表面波表征研究[J].应用数学和力学,2023,44(4):381-393,13.

基金项目

国家自然科学基金项目(61571319) (61571319)

应用数学和力学

OACSTPCD

1000-0887

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