照明工程学报2023,Vol.34Issue(2):6-11,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-440X.2023.02.002
小功率同轴KrCl准分子灯辐射特性研究
Radiant Characteristics of Low Power Coaxial KrCl Excilamps
刘超群 1曹露泽 1朱倩文 1韩秋漪 2张善端3
作者信息
- 1. 复旦大学工程与应用技术研究院,上海 200433
- 2. 复旦大学电光源研究所,上海 200438
- 3. 复旦大学工程与应用技术研究院,上海 200433||复旦大学电光源研究所,上海 200438
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摘要
关键词
氯化氪/准分子灯/介质阻挡放电/222 nm辐射分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘超群,曹露泽,朱倩文,韩秋漪,张善端..小功率同轴KrCl准分子灯辐射特性研究[J].照明工程学报,2023,34(2):6-11,6.