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小功率同轴KrCl准分子灯辐射特性研究

刘超群 曹露泽 朱倩文 韩秋漪 张善端

照明工程学报2023,Vol.34Issue(2):6-11,6.
照明工程学报2023,Vol.34Issue(2):6-11,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-440X.2023.02.002

小功率同轴KrCl准分子灯辐射特性研究

Radiant Characteristics of Low Power Coaxial KrCl Excilamps

刘超群 1曹露泽 1朱倩文 1韩秋漪 2张善端3

作者信息

  • 1. 复旦大学工程与应用技术研究院,上海 200433
  • 2. 复旦大学电光源研究所,上海 200438
  • 3. 复旦大学工程与应用技术研究院,上海 200433||复旦大学电光源研究所,上海 200438
  • 折叠

摘要

关键词

氯化氪/准分子灯/介质阻挡放电/222 nm辐射

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

刘超群,曹露泽,朱倩文,韩秋漪,张善端..小功率同轴KrCl准分子灯辐射特性研究[J].照明工程学报,2023,34(2):6-11,6.

照明工程学报

1004-440X

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